AMC系指-环境中有能力沈降于表面上形成单分子层（monolayer）薄膜之气态化学污染物质。因半导体晶圆越微小化、平面显示器尺寸巨大化，制程产品正面临微量污染物严重威胁，对于无尘室生产环境的洁净度要求也越来越严谨及重要。现今AMC的污染浓度虽未与目前的洁净室等级形成直接关系，但AMC的存在确实对制程有严重的影响。

AMC常见来源：

制程中使用的化学品，造成化学滤网效率降低或释出
邻近工厂使用含硫有机溶剂排放之有机硫化物
石化制程排放之挥发性有机物及其光化学反应物质
大气中硫氧化物，氮氧化物
洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发之VOCs

AMC种类：

服务内容

1. MA、MB：酸性与碱性空降分子污染采样与分析

2. MC：可沉降物质及有机气体分子采样与分析

3. MD：参杂性空降分子污染采样与分析

4. MM：金属空降分子污染采样与分析

5. S硫化物分子污染采样与分析

6. 高效滤网及化学滤网过滤效率分析

7. AMC污染解决方案

解决方案

洁净室AMC检测能提供各种模式的服务

1. 委托样品采集分析

客户没有现场采样设备及采样经验，可以委托到现场进行采样与分析，工程师到客户现场进行采样可以避免采样过程的失误与污染。

2. 客户自行样品采集后委托分析

如客户希望自行采样，可协助客户建立采样能力，以达到时间与成本的优化。

采样设备租借、采样教育训练课程、采样能力建置打包方案。