纯水&超纯水杂质分类
在半导体生产过程中，各种产品对水的纯度要求各不相同，通常将纯水分为纯水和超纯水两种。超纯水要求所含的悬浮颗粒直径在0.45微米以下，细菌数为0～10个/毫升，25℃时电阻率在10兆欧•厘米以上。
纯水和超纯水的杂质主要分为三类：
| - 痕量金属杂质，容易污染的比如钠、钾、钙、镁、硼等，同时也需要控制特殊工艺受影响的元素。 - 痕量阴阳离子杂质，如常见的阴离子为氟离子、氯离子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等，阳离子如铵根、锂、钠、钾、镁、钙等。 - 痕量的有机污染物等。 |
由于杂质要求达到ppt等级时，电导率不再是可以表征超纯水中杂质，特别是金属杂质和阴阳离子杂质的有效手段。只有通过用先进的分析仪器来测定金属和离子的真实含量，才能了解超纯水的真实质量。
服务内容
和一般的测试不同，超纯水对测试系统的要求非常高，包括采样环境、采样设备、人员的经验和样品运输，以及测试的时效性都是影响超纯水测试结果的重要因素。
配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务，以确保您的超纯水"超纯"，真正达到超洁净度要求。
样品采集
提供经验证的干净采样瓶供客户免费使用，同时提供采样指引，由客户采集样品并寄送样品到实验室进行分析，此种是推荐的最佳服务方式，既保证测试结果又节省费用支出。
样品测试
客户使用自己的采样瓶并采集样品寄到实验室进行分析，采用这种方式可兼顾客户对样品瓶的验证
▪ 客户现场在线分析
在线总有机碳（TOC）测试、在线微粒子（Particle）测试、在线电导率测试、在线溶氧测试等。
▪ 实验室分析
金属含量、二氧化硅、阴阳离子、总有机碳（TOC）、微粒子（Particle）、菌落总数、电导率、PH、碳酸根CO₃²-、溶氧、可溶解硅等。
