服务内容
依据 ISO 8573 针对 CDA 中会影响制程良率的各项重要指标,提供安装后及使用期间定期检测之服务。
测试项目:
● 金属元素分析
● 油份含量(总碳氢化合物)分析
● 微粒子数分析 (0.1um ~10um )
● 酸碱气体含量分析 (阴阳离子)
● 水份及露点分析
● 微生物污染分析
● 其他有机污染物分析
● CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析
● 过滤效率评估
解决方案
压缩干燥气体(CDA)洁净度检测能提供各种模式的服务
☑ 压缩干燥气体(CDA)洁净度等级确认
依据客户端压缩机的使用用途,依据产业法规与制程工艺洁净室量测与确认。
☑ 压缩干燥气体(CDA)等级符合性证书
依据测试结果与ISO 8573标准,判断其等级出具证明 。
☑ 压缩干燥气体(CDA)品質改善
针对不达目标压缩空气质量,透过我们的建议改善与再确认,达到客户最终使用质量需求。